Pistolet à émission de champ - Field emission gun

Source d'électrons à émetteur Schottky d'un microscope électronique

Un canon à émission de champ ( FEG ) est un type de canon à électrons dans lequel un émetteur de type Müller pointu est maintenu à un potentiel négatif de plusieurs kilovolts par rapport à une électrode voisine , de sorte qu'il existe un gradient de potentiel suffisant à la surface de l'émetteur pour provoquer un champ électronique émission . Les émetteurs sont soit de type cathode froide , généralement constitués de tungstène monocristallin aiguisé à un rayon de pointe d'environ 100 nm, soit de type Schottky , dans lequel l'émission thermoionique est renforcée par abaissement de barrière en présence d'un champ électrique élevé . Les émetteurs Schottky sont fabriqués en recouvrant une pointe de tungstène d'une couche d' oxyde de zirconium (ZrO 2 ) diminuant le travail de sortie de la pointe d'environ 2,7 eV .

Dans les microscopes électroniques , un canon à émission de champ est utilisé pour produire un faisceau d'électrons de plus petit diamètre, plus cohérent et avec une densité de courant ou une luminosité jusqu'à trois ordres de grandeur supérieure à celle des émetteurs thermoioniques conventionnels tels que l'hexaborure de tungstène ou de lanthane. ( LaB
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) -tipped filaments . Le résultat à la fois en microscopie électronique à
balayage et en transmission est un rapport signal sur bruit et une résolution spatiale considérablement améliorés, ainsi qu'une durée de vie et une fiabilité considérablement accrues de l'émetteur par rapport aux dispositifs thermoioniques.

Les références