HARMST - HARMST
HARMST est un acronyme pour h IGH un spect r atio m icrostructure t echnique, qui décrit les technologies de fabrication utilisés pour créer haute aspect rapport microstructures avec des hauteurs entre des dizaines de micromètres jusqu'à un centimètre, et des rapports d'aspect supérieur à 10: 1. Les exemples incluent le processus de fabrication LIGA , la gravure avancée du silicium et la gravure ionique réactive profonde .
Voir également
Les références
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